UL-Coat-3 常壓等離子設備

圖片

簡介

規格參數

功能圖解

應用系統

相關產品

基本參數

鍍膜材料：SiO2/SiOx

鍍膜厚度：50-1000nm

均勻性：+/-2%

處理溫度：RT-200℃，取決于處理速度

處理速度：0-20m/min，根據實際應用調整

槍頭

3個

電纜線

3m、5m、7m可選

發生器

尺寸：520mm×460mm×210mm，重量：20Kg

控制系統

PLC可實現下列功能：

Ø簡單便捷的操作界面；

Ø根據處理材料設定不同的處理工藝參數，并且形成工藝菜單；

Ø設置進氣停氣，加電停電，輸入電壓等指標；

Ø監測所有的運行指標，保證各項參數在設定范圍之內；

Ø設定操作進入密碼。

電源供應

220-230V AC, 50/60Hz, 15A

工藝氣體

壓縮空氣、氮氣、其他混合氣體，消耗量：150L/min

氣體輸入

一個氣體輸入端口，含氣體流量控制器（MFC），輸入壓力：3Bar

尾氣排放

150m3/min

安全性能

急停開關；接地保護；CE安全認證

選件

定制OEM

主要應用

1，表面活化改性后進行等離子鍍膜，膜粘接能力強；

2，支持其他鍍膜研究；

3，缺陷修補等其他應用。